איך זרבובית הריסוס האולטראסונית מצפה את הפוטו-רזיסט?

טכנולוגיית ציפוי ריסוס קולי היא טכנולוגיה חדשה שממלאת כיום תפקיד משמעותי בתעשיות שונות. מספר גדול יותר של לקוחות בוחרים כעת בזרבובית קולית לציפוי. בהשוואה להתזת נוזלים- מסורתית, ריסוס קולי מציע יתרונות משמעותיים באיכות הציפוי, ניצול החומרים ותאימות התהליך.

 

החברה שלנו מציעה שירותי בדיקת דוגמאות בחינם, ומספר הולך וגדל של לקוחות שולחים לנו דוגמאות לבדיקה. הציוד שלנו זכה לביקורות חיוביות והכרה מלקוחותינו.

 

היום, נדון בהתזה פוטו-רזיסטית על-קולית, סוג נפוץ יחסית של התזת חומרים.

 

Photoresist הוא חומר סרט דק הרגיש לאור או לקרינה ומשמש בעיקר לדפוסים עדינים בתחומים כמו מעגלים משולבים ופאנלי תצוגה. הוא משמש כציפוי-עמיד בפני חריטה בתהליך הפוטוליתוגרפיה. המסיסות שלו משתנה עם חשיפה לאור, ויוצרת את דפוס המעגל הרצוי. פוטו-רזיסטים מסווגים לגוון-חיובי (אזורים חשופים מתמוססים) וטון-שלילי (אזורים לא נחשפים מתמוססים). בהתאם למקור האור החשיפה, הם מסווגים ל-UV, UV עמוק, UV קיצוני והתנגדות לאלקטרון.

הליבה של טכנולוגיית ריסוס אטומיזציה של פוטו-רזיסט היא השימוש באנרגיית רטט על-קולית כדי להשיג אטומיזציה יעילה ואחידה של הפוטו-רזיסט. בקרת זרימת אוויר מדויקת לאחר מכן מספקת את הטיפות המרוסקות למשטח המצע, ויוצרות ציפוי באיכות גבוהה-. ניתן לחלק את התהליך לשלושה שלבים עיקריים:

 

 

1. אטומיזציה של Photoresist: רטט בתדר- גבוה מפרק את מתח הפנים של הנוזל.

מרכיב הליבה של טכנולוגיית ריסוס קולי הוא זרבובית אטום קולי, אשר מכיל ויברטור קרמי פיזואלקטרי. כאשר אות חשמלי בתדר גבוה מופעל על הוויברטור, הוא יוצר רעידות מכניות באותו תדר, ומעביר את אנרגיית הרטט אל משטח האטום של הזרבובית. לאחר שהפוטו-רזיסט מועבר למשטח המרסס דרך מערכת אספקת הנוזל, הרעידות בתדירות הגבוהה מפרקות במהירות את מתח הפנים של הנוזל, ויוצרות טיפות בגודל מיקרון- בקוטר אחיד (בדרך כלל 5μm-50μm).

בהשוואה לאטומיזציה בלחץ המסורתית (המסתמכת על זרימת אוויר בלחץ-גבוה כדי לפרק את הנוזל), אטומיזציה קולית מבטלת את הצורך בהפרעות בזרימת אוויר-בלחץ גבוה, וכתוצאה מכך חלוקת גודל טיפות אחידה יותר (בתוך ±10%). זה גם נמנע מהתזת טיפות או הפרעה למשטח המצע עקב השפעת זרימת האוויר.

 

2. שליטה מדויקת בנתיב ההעברה

לחברה שלנו יש מהנדסי תכנות מקצועיים שיכולים לתכנת באופן עצמאי את נתיב ריסוס האטומיזציה. אנו יכולים גם להתאים מסלולי ריסוס שונים בהתאם לדרישות הלקוח. יש לנו ניסיון בוגר בייצור מכונות שלמות. עבור כל מכשיר, אנו מתכנתים אותו עבור הלקוח. על המסך, הלקוח רואה את נתיב הריסוס בזמן אמת.- בנוסף לבחירת הנתיב, עלינו גם לכוונן את מהירות זרימת האוויר (כדי לשלוט על מרחק ההעברה, בדרך כלל 5-50 מ"מ) ואת המיקום היחסי של הזרבובית והמצע (באמצעות זרוע רובוטית או שלב תרגום למיקום תלת מימדי), אנו מבטיחים שהחלקיקים המפורקים מגיעים אל פני המצע בצורה אנכית ואחידה, תוך הימנעות מעובי זרימת אוויר לא אחידה.

3. יצירת סרט ציפוי: ריפוי-נמוך בטמפרטורה מבטיח שלמות מבנית

לאחר שהטיפות המרוסקות מופקדות על פני המצע, הן עוברות תהליך ריפוי-בטמפרטורה נמוכה (בדרך כלל 60 מעלות -120 מעלות, נמוכות בהרבה מטמפרטורות הריפוי-הגבוהות של ציפוי ספין מסורתי) כדי ליצור סרט. אשפרה בטמפרטורה נמוכה לא רק מונעת דפורמציה של המצע או פירוק חומר הנגרם על ידי טמפרטורות גבוהות, אלא גם מפחיתה הצטברות מתח בתוך הפוטו-רזיסט, משפרת את ההידבקות והשלמות המבנית של הציפוי, ומניחת בסיס טוב לתהליכי פוטוליטוגרפיה הבאים.