ציפוי ריסוס אולטראסוני: שיטת הציפוי המועדפת לתעשיית המוליכים למחצה

RPS-sonic מייצרת ציוד ציפוי אולטראסוני המוקדש לאספקת טכנולוגיות חדשניות ופתרונות ריסוס מוצרים ללקוחות בתעשיית המוליכים למחצה. היא מספקת פתרונות ריסוס קוליים מתקדמים ליצרני ציוד מוליכים למחצה מקומיים, יצרני ציוד אלקטרוניקה ומוסדות מחקר.

ריסוס אטומיזציה פוטו-רזיסט על-קולי הוא טכנולוגיית ליבה לציפוי פוטו-רזיסט מדויק בייצור מוליכים למחצה ומיקרו-אלקטרוניקה. יתרונות הליבה שלו הם ציפוי אחיד, סרט דק וחיסכון בחומרים.

 

עקרון הליבה: פוטו-רזיסט נוזלי מפורק לטיפות בגודל ננו- עד -מיקרון באמצעות רטט קולי. טיפות אלה מועברות במדויק למשטח (כגון פרוסות סיליקון או זכוכית) באמצעות זרימת אוויר, ויוצרות סרט דק אחיד. גודל הטיפות נשלט הן על ידי תדירות הרטט והן על ידי צמיגות הפוטו-רזיסט; ככל שהתדירות גבוהה יותר, הטיפות עדינות יותר.

 

ערכי יישום מרכזיים: דיוק ציפוי גבוה: אחידות טיפות מעולה; ניתן לשלוט על סטיית עובי הסרט בתוך ±5%, תוך התאמה לדרישות הדיוק של ייצור מיקרו- וננו-.

 

ניצול חומרים גבוה: בהשוואה לציפוי ספין מסורתי (עם שיעור בזבוז חומר העולה על 50%), ריסוס אטומיזציה דורש רק כמות קטנה של פוטו-רזיסט כדי להשיג את עובי הסרט היעד, וחוסך בעלויות.

 

מתאים למצעים מורכבים: יכול לשמש לציפוי מצעים לא-מישוריים, בשטח- גדול, או מצעים בעלי צורה לא סדירה, תוך הימנעות מבעיות קצה-עובי ומרכז-דקות הנגרמות על ידי כוח צנטריפוגלי בציפוי ספין.

 

מפחית פגמים: טיפות ללא פגיעות בלחץ גבוה-, מפחיתות פגמים כגון בועות וחורים בסרט הפוטו-רזיסט, משפרות את הרזולוציה והעקביות של דפוסי פוטוליטוגרפיה.

 

יישומים אופייניים:

ייצור שבבי מוליכים למחצה: משמש לציפוי עדין של פוטו-רזיסט על משטחי רקיק, תמיכה בתהליכי ליבה כגון פוטוליתוגרפיה ותחריט.

 

ייצור פאנל תצוגה: מותאם לציפוי פוטו-רזיסט על מצעים של OLED, Micro LED והתקנים אחרים, מה שמבטיח אחידות פיקסלים.

Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS): מספק סרטי פוטו-רזיסט מדויקים לייצור מיקרו-מבנה של מכשירים כגון חיישני מיקרו- ומפעילים.

 

בחירת ציוד ריסוס אטומיזציה פוטו-רזיסט נכון מצריכה התייחסות מקיפה של מספר גורמים, כולל דיוק ריסוס, מאפייני נוזל, סוג הציוד וסוג הזרבובית. להלן נקודות הבחירה העיקריות:

 

דרישות דיוק בריסוס: להכנת סרטים דקים בקנה מידה ננו, כגון ריסוס פוטו-רזיסט על פרוסות מוליכים למחצה, מתאימות חרירי אטומיזציה של 100-12kHz. אלה מאפשרים שליטה מדויקת על קצבי זרימה נמוכים במיוחד וחלקיקים אטומים במיוחד-. להכנת ציפויים אחידים ברמת מיקרון בלבד, חרירי אטומיזציה של 40-60kHz יעילות יותר, מאזנות את קצב הזרימה ויעילות ההתזה תוך שמירה על רמת דיוק מסוימת.

מאפייני נוזל: הצמיגות של הפוטו-רזיסט היא שיקול מכריע. לצמיגות- נמוכה (<30cP) photoresists, 100-120kHz is appropriate; while for medium-to-high viscosity (30-50cP) photoresists, 40-60kHz is more suitable. Furthermore, the volatility and corrosiveness of the photoresist must be considered. If the photoresist is corrosive, an external atomization nozzle should be selected.

 

סוג ציוד: לייצור-אצווה קטן או-שטח קטן-סרט דק במעבדה, מתאימה מערכת ציפוי ברמת מעבדה קטנה-ל-להפעלה-, כגון RPS-SONIC-P400. עבור קווי ייצור בקנה מידה גדול, נדרשת מערכת ציפוי רצפה-עמידה/ייצור-, כגון RPS-SONIC-P 490. מערכת זו יכולה להיות מצוידת במערכות חרירים מרובות כדי להשיג ריסוס- בשטח גדול, בהתאם לאזור הנדרש.

 

סוג זרבובית: אם המצע הוא מוליך למחצה לא-מישורי עם מבני מיקרו משטחים, ניתן לבחור זרבובית קולית מפזרת. זה יכול לרסס משטחים אנכיים או מעוקלים עם זוויות. עבור ריסוס פוטו-רזיסט בשטח- גדול, כגון ריסוס תאים סולריים בסרט דק-, זרבובית אולטרסאונד רחבה- מתאימה יותר. עיצוב ערוץ הזרימה המיוחד שלו מפזר ומנתב מחדש את הגז המוביל, וגורם לערפל הנוזלי המפורק על-קולית להתיז בצורת מאוורר, ובכך להרחיב את רוחב הריסוס.

 

תדר אולטראסוני: לתדר יש השפעה מכרעת על גודל החלקיקים המפורקים ועל איכות הציפוי. תדרים גבוהים (כגון מעל 100kHz) יכולים לייצר טיפות קטנות ואחידות יותר, מה שהופך אותן למתאימות להכנת ציפויים דקים ואחידים עם חלקות פני שטח גבוהה, הידבקות חזקה וצפיפות טובה. זה חל על שדות עם דרישות דיוק גבוהות במיוחד, כגון מיקרואלקטרוניקה. אם הדרישות לאחידות הציפוי אינן מחמירות במיוחד ויש צורך בנפח ציפוי גדול, ניתן לבחור במכשיר בתדר נמוך יותר.