האם אי פעם השתמשת בריסוס האולטראסוני בתעשיית הפוטורסיסט?

יישום הליבה של ריסוס אטומיזציה קולי בתעשיית הפוטו-רזיסט הוא ציפוי של פוטו-רזיסט עם דיוק גבוה, אחידות גבוהה וכיסוי צעדים גבוה. זה טוב במיוחד בפתרון בעיות הציפוי של מיקרו-מבנים תלת מימדיים, יחסי גובה-רוחב גבוהים ומצעים גדולים/לא סדירים שקשה לטפל בהם על ידי ציפוי ספין מסורתי, תוך שיפור משמעותי בניצול החומר ובתפוקה.

1. ציפוי פרוסות מוליכים למחצה (יישומים מיינסטרים)

Planar Wafer Coating: Used for 12-inch and larger wafers, achieving ultra-thin, uniform photoresist layers (thickness 50–500 nm), with thickness error controllable within ±0.3–0.4 μm and uniformity >95%, משפר משמעותית את דיוק החשיפה ואת תפוקת השבבים.

ציפוי רקיקי מבנה מורכב: מיקוד לתעלות עמוקות, TSVs ומבנים גבוהים ביחס גובה-רוחב, פתרון בעיות של ציפוי ספין- כגון הצטברות קצה, התנגדות חסרה בתחתית והשפעות הצללה, השגת כיסוי אחיד בדפנות ובתחתית, הבטחת דיוק של השתלת תחריט/יונים.

2. ציפוי מכשירי MEMS ומיקרו-מבנה

ציפוי של משטחים מורפולוגיים מורכבים בתלת מימד כגון שבבי MEMS, שבבים מיקרופלואידיים, חיישנים ומראות מיקרו, מספק כיסוי צעדים מצוין, ביטול פינות מתות ובועות ושיפור אמינות המכשיר.

מצע מיוחד וציפוי אלקטרוני גמיש

ציפוי של מצעי סיליקון שאינם-כגון זכוכית, קרמיקה, מתכות ומצעים גמישים (למשל, PI, PET), מתאים לחלקים בעלי צורה לא סדירה/גדולים-בגודלים/שבירים, תוך הימנעות מסיכון הפיצול הנגרם מצנטריפוגה- במהירות גבוהה במהלך ציפוי ספין.

ציפוי של שכבות פוטו-רזיסט/פונקציונליות על מצעים גמישים/מעוקלים כמו OLEDs גמישים ותאי שמש פרוסקיט.

מחקר ופיתוח ואבי טיפוס-קטנים

מחקר ופיתוח מעבדתי, אימות חומרים חדשים ויצירת אב-טיפוס-קטנים: החלפה מהירה, בקרת עובי סרט מדויקת וצריכת חומרים נמוכה, מתאימה לפיתוח ניסוח פוטו-רזיסט ואיטרציה של תהליך.

תהליך היברידי (ציפוי ספין + ריסוס אולטראסוני)

ראשית, ריסוס קולי יוצר סרט בסיס אחיד, ולאחר מכן ציפוי ספין במהירות- גבוהה מיישר את הדבק, מאזן אחידות, כיסוי שלבים ויעילות ייצור, המתאים לתהליכים מתקדמים.

פרמטרים טיפוסיים של תהליך (הפניה)

●תדירות אטומיזציה: 20–120 קילו-הרץ (בשימוש נפוץ 100 קילו-הרץ)

● גודל חלקיקי אטומיזציה: 0.5-50 מיקרון (רמת תת-מיקרון)

●טווח עובי הסרט: 50 ננומטר-5 מיקרומטר (50-500 ננומטר משמש בדרך כלל לציפוי מדויק)

● אחידות עובי: ±0.3–0.5 מיקרומטר (ופל 12 אינץ')

●Material Utilization: >90%